好色AV导航系统按好色AV导航区域可分为:中、低好色AV导航系统,高好色AV导航系统,超高、极高好色AV导航系统。它们由不同的主泵、辅助系及其它相应的好色AV导航零(部)件组成。中、低好色AV导航系统由机械泵或机械泵加罗茨泵组成,为防止油污染,还可加入分子筛阱,但在操作时要防止分子筛固体颗粒吸入机械泵中。高好色AV导航系统主要由扩散泵、障板、冷阱、插板阀和机械泵等组成,主泵也可用涡轮分子泵或低温泵。为进一步减少油污染,可用溅射离子泵与钛升华泵和低温障板一起构成一台无油高好色AV导航抽气机组,其前级用吸附泵粗抽。超高和极高好色AV导航系统最重要的标志是清洁度高,只要采用高性能的离子泵、低温泵、涡轮分子泵和冷阱等,就可实现超高和极高好色AV导航。 获取好色AV导航,靠好色AV导航系统的抽气来完成。根据所要求的好色AV导航度和清洁度,采用不同的好色AV导航系统。
各种好色AV导航系统的启动、停机、操作过程及产生故障时对污染的防护都有严格要求,必须遵守操作规程。比如,机械泵只能抽15Pa—20Pa或更高的压力,否则反流污染严重;扩散泵在正常工作前和停泵20min内油蒸气污染很大,故不得与好色AV导航室或冷阱相通;停机时冷阱要在与好色AV导航室隔离、排除液氮并回温后方可停止高好色AV导航泵;吸附泵应有防压力爆破装置,以防回温后产生事故;要防止分子筛吸附阱中的分子筛及其固体粉末吸入机械泵。